如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱:
優(yōu)勢(shì)代理AMAYA天谷制作所 晶圓設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào):
AMAX1000S
產(chǎn)品展商:
日本AMAYA天谷制作所
折扣價(jià)格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):206
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
AMAYA株式會(huì)社天谷制作所AMAX1000S
常壓CVD裝置，準(zhǔn)備了滿足顧客需求的產(chǎn)品陣容。同時(shí)，定做也對(duì)應(yīng)。
對(duì)應(yīng)于半導(dǎo)體制造用、太陽能電池制造用等各種用途。從少量生產(chǎn)到大量生產(chǎn)
形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各種膜種
采用SiC托盤防止重金屬污染，從低溫（200℃）到中溫（500℃）區(qū)域可以廣泛成膜
優(yōu)勢(shì)代理AMAYA天谷制作所 晶圓設(shè)備
的詳細(xì)介紹
日本AMAYA株式會(huì)社天谷制作所
連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池
AMAX1000S
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156 毫米方形 1500 張/小時(shí)吞吐量
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采用SiC托盤防止重金屬污染的對(duì)策，以及通過改善托盤支架防止背面環(huán)繞的措施
特征
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可以使用滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)輸156mm x 156mm方形基板和125mm x 125mm方形基板。
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我們開發(fā)了可實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)的專用分散頭，以及實(shí)現(xiàn)超高速輸送的雙臂輸送機(jī)構(gòu)。 此外，還增加了燈管加熱機(jī)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)超高速和晶圓溫度均勻性。
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我們開發(fā)了一種特殊的晶圓支架，用于高效加熱太陽能電池的薄晶圓。
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卸料器部分使用多級(jí)Bernui卡盤來分離晶圓和托盤，并且還具有冷卻功能。
性能
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均勻的薄膜厚度
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≦±10.0%
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支持的晶圓尺寸
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156毫米方形，125毫米方形
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氣體種類
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SiH4，O 2， PH3， B 2 H6， N 2
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薄膜沉積溫度
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~430°C
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生產(chǎn)力
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1500張/小時(shí)
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主要規(guī)格
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設(shè)備尺寸
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1860毫米（寬） x 5900毫米（深） x 2100毫米（高）
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加熱機(jī)構(gòu)
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電阻加熱和燈加熱
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裝載卸載
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裝載：卡盤，卸載：伯努利卡盤
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分散頭（氣體噴嘴）
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A63 長(zhǎng)頭（標(biāo)準(zhǔn) 3 頭）
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